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簡要描述:INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結合使用時,可自動更換其晶體,而無需中斷過程。晶體不穩(wěn)定或失效時,IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉傳送帶發(fā)送信號,要求其立即將新晶體旋轉到位,從而實現持續(xù)沉積速率監(jiān)控。
詳細介紹
品牌 | Inficon/英福康 | 產地 | 進口 |
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加工定制 | 否 |
XL12-INFICON Crystal 12探頭(傳感器)
自動晶體切換最大限度地延長生產時間
INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結合使用時,可自動更換其晶體,而無需中斷過程。晶體不穩(wěn)定或失效時,IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉傳送帶發(fā)送信號,要求其立即將新晶體旋轉到位,從而實現持續(xù)沉積速率監(jiān)控。為進一步最小化停工時間,可以將晶體預先加載到另一個可選旋轉傳送帶上,這樣,可以直接輕松快速地更換裝有失效晶體的旋轉傳送帶,從而最大限度縮短系統(tǒng)打開的時間。
功能
裝有 12 顆晶體,可進行可靠的自動轉換,從而最大限度延長過程運行時間
易于拆卸的旋轉傳送帶允許快速更換所有 12 顆晶體
晶體轉換由空氣驅動完成(競爭產品是使用生熱電機),因而晶體溫度非常穩(wěn)定
易于拆卸的前沉積罩保護晶體和旋轉傳送帶上不會積存材料,從而最大限度減少拆卸整個傳感器以進行維護的必要性
可選安裝后套件允許用戶根據公制硬件大小自行修改
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